儀器包括立柱體(材料采用花崗巖、氣浮塊做為滑動(dòng)體、氣模為介質(zhì)實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦運(yùn)動(dòng))測(cè)量裝置,驅(qū)動(dòng)裝置(步進(jìn)電機(jī)及傳動(dòng)部分),氣源控制裝置(判斷氣壓及凈化),輔助夾具,打印機(jī)及電腦等(打印檢定記錄及數(shù)據(jù)處理)。